光阻稀釋溶劑(PGMEA)固液分離案例｜高速管式分離機應用
光阻稀釋溶劑 (PGMEA) 再生：如何透過高速離心技術解決微細光阻雜質分離需求？
PGMEA光阻稀釋溶劑使用後會含有光阻、顏料及微細雜質，影響溶劑再利用。勝旺高速管式分離機協助去除懸浮固體，使回收溶劑恢復澄清，提升電子製程資源循環效率。
製程背景：半導體製程中的 PGMEA 回收需求
PGMEA 是半導體、面板及電子材料製程中常用的有機溶劑，主要用於光阻調配、設備清洗及製程相關應用。
在使用過程中，PGMEA 會溶解或帶出光阻材料、顏料及其他微細固體污染物，形成含有懸浮雜質的廢溶劑。
由於 PGMEA 本身具有較高回收價值，若能有效去除其中固體成分，使溶劑恢復澄清狀態，不僅可降低新溶劑採購成本，也能減少廢液產生量，符合電子產業推動循環製造的需求。
製程問題：微細顆粒與溶劑回收限制
PGMEA回收過程中，企業通常面臨以下挑戰：
- 微細光阻顆粒難以分離：製程產生的光阻殘留物粒徑細小，容易長時間懸浮於溶劑中，傳統沉降方式效率有限。
- 濾材容易堵塞：使用濾芯、濾袋或濾膜進行處理時，細微顆粒容易累積造成阻塞，需要頻繁更換耗材。
- 高價值溶劑損耗：部分溶劑會殘留於濾材或廢棄物中，降低回收效率並增加處理成本。
- 回收品質要求嚴格：電子製程使用的回收溶劑需維持一定澄清度，避免殘留污染物影響後續製程品質。
設備選型理由：高速管式分離機符合低含固量精密分離需求
PGMEA 回收屬於「低含固量、高澄清要求」的液體分離應用，需要設備具備處理微細顆粒及降低耗材使用的能力。
高速管式分離機利用高速旋轉產生強大離心力，適合處理一般沉降方式難以分離的微細懸浮物，可有效提升固液分離效率。
相較於傳統濾材過濾方式，管式分離機不依靠濾孔攔截顆粒，因此可降低因細粉堵塞造成的停機與耗材更換問題，同時減少珍貴溶劑被濾材吸附造成的損失。
設備特點：
- 適合低濃度微細固體分離
- 可處理光阻、顏料等懸浮污染物
- 減少濾芯、濾袋等耗材使用
- 提升回收溶劑再利用效率
設備規格：
查看高速管式分離機詳細介紹
製程流程：PGMEA 回收三步驟
1.穩定進料：將待處理的 PGMEA 廢溶劑導入管式轉鼓中。
2.高速離心澄清：轉鼓高速旋轉，將細微顏料雜質強制壓制在轉鼓壁上。
3.溶劑收集與再利用：分離後的清澈溶劑由出料口連續流出，經檢驗合格後即可回充至製程使用。
處理效果：提升溶劑回收價值與製程效率
- 降低廢液處理成本：減少需委外處理的廢溶劑量，降低環保處理費用。
- 減少耗材消耗：降低濾芯、濾袋等一次性耗材使用，減少維護成本。
- 提升溶劑再利用比例：有效回收可再利用 PGMEA，提高資源使用效率。
- 改善製程永續性：減少溶劑浪費與廢棄物產生，符合綠色製造方向。
實際應用 Q&A
Q1：PGMEA 廢溶劑中的光阻微粒，高速管式分離機如何進行固液分離？
A1：PGMEA 廢溶劑中的光阻、顏料等微細固體，可透過高速離心力進行分離。高速管式分離機利用高轉速產生強大離心力，使懸浮顆粒沉積於轉鼓內壁，實際效果仍需依粒徑、濃度與流量測試確認
Q2：為什麼 PGMEA 回收不用濾芯或濾袋，而選用高速管式分離機？
A2：濾芯與濾袋容易因微細光阻顆粒造成堵塞，也可能產生耗材成本與溶劑殘留損失。高速管式分離機透過離心沉降方式降低耗材需求，提高溶劑回收效率。
Q3：PGMEA 屬於易燃溶劑，高速管式分離機操作時需要注意什麼？
A3：處理 PGMEA 等易燃溶劑時，需依現場安全規範評估防爆、通風與氮氣保護措施，確保設備運轉環境符合安全需求。
Q4：高速管式分離機分離後的光阻固體如何清理？
A4：高速管式分離機完成分離後，可停機拆卸轉鼓清除固體沉積物，也可搭配襯布方式提升固體收集便利性，減少清理時間。
延伸應用：高速管式分離機實績案例
除了 PGMEA 回收，本設備在各產業中針對「微米級雜質攔截」與「三相分離」皆有豐富經驗：
GQ 澄清型：固液分離實績
針對含固量 1-3% 以下、傳統過濾容易堵塞的細微顆粒：
【半導體與精密材料回收】
【生技醫藥與菌體回收】
發酵液菌體回收 (
【工業環保與其他製程】
工業廢水處理 (
GF 分離型：油、水、渣三相分離實績
同步分離兩種不同比重液體，並自動攔截微量渣滓：
【食品與保健萃取】
【工業廢油與溶劑回收】
物料特性（如粒徑、濃度、分散性）會直接影響分離參數。為了提供最精準的規劃，我們建議：
1.
2.
-
探索不同產業的高速離心解決方案：點此查看更多實績案例內容